Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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AM: Magnetismus

AM 9: Dünne magnetische Schichten und Vielfachschichten, magnetooptische Schichten II

AM 9.2: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 15:15–15:30, H10

Grenzflächeneigenschaften von teilamorphen Nano-Viellagenschichten am Beispiel CoZr/Cu: Röntgenreflektometrie im Vergleich zu TEM und AFM — •J. Langer¹, J. Kräußlich², St. Senz³, D. Hesse³ und R. Mattheis¹ — ¹IPHT Jena e.V. , Postfach 100239, D-07702 Jena — ²Institut für Optik und Quantenelektronik, FSU Jena, Max-Wien-Platz 1, D-07743 Jena — ³Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale

Die Stapelung von Schichten im Nanometer-Bereich erschließt eine ganze Palette neuartiger Anwendungen, wie zum Beispiel Röntgenspiegel oder neuartige magnetoresitive Sensoren. Ein Schlüsselelement derartiger Viellagenschichten ist die Erzeugung und Charakterisierung optimierter Grenzflächen. Die Röntgenreflektometrie ist dabei, sich als zerstörungsfreies Standardverfahren zu etablieren. Ihre Möglichkeiten werden an CoZr/Cu-Viellagenschichten mit Einzeldicken im Bereich von 1 bis 4 nm getestet, die zum teil amorph wachsen. Es wird gezeigt, dass sich sowohl die RMS-Rauigkeit, wie sie aus spekulären Abtastungen bestimmbar ist, als auch die Rauigkeitskorrelation,wie sie aus nicht- spekulären Abtastungen gewonnen werden kann, mit TEM-Ergebnissen und den AFM-Messungen bestätigen lassen. Insbesondere wird vorgeschlagen, den Hurst-Parameter h, der die lokale Struktur der Oberfläche beschreibt, mit dem Kornwachstumsmodus zu korrelieren.