Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 10: Charakterisierungsverfahren I

DS 10.1: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 16:45–17:00, H 31

Tiefenprofilanalyse leichter Elemente mit Monolagen Auflösung unter Verwendung hochenergetischer Ionen — •G. Dollinger, Christoph Frey, Andreas Bergmaier und Thomas Faestermann — Physik Department E 12, TU München, 85747 Garching

Der Nachweis elastisch gestreuter Probenatome aus dem Beschuss dünner Schichten mit hochenergetischer Ionen (ERD:Elastic Recoil Detection) erlaubt eine quantitative Tiefenprofilanalyse leichter Elemente. Durch den direkten Nachweis der gestreuten Probenatome ist der untergrundfreie Nachweis leichter Elemente auch in schweren Matrizen mit hoher Sensitivität möglich. Die Tiefeninformation wird, wie in hochenergetischen Ionenstreuexperimenten üblich, durch die Energieverluste der ein- und ausfallenden Ionen ermittelt. Durch eine hochauflösende Messung der Rückstoßsenergie mit einem Magnetspektrographen ist es möglich die Tiefenauflösung bis an die physikalischen Grenzen zu steigern. An HOPG Graphit wird zum ersten Mal Monolagenauflösung über mehrere Atomlagen hinweg demonstriert. Die dazu notwendigen experimentellen Randbedingungen und wichtige Aspekte der Ionen-Festkörper Wechselwirkung werden diskutiert.