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DS: Dünne Schichten

DS 10: Charakterisierungsverfahren I

DS 10.2: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 17:00–17:15, H 31

Ortsaufgelöste Röntgenabsorptionsspektroskopie an dünnen Kohlenstoffschichten — •Ch. Ziethen¹, O. Schmidt¹, G. Marx¹, G. Schoenhense¹, R. Frömter², J. Gilles², D. Hartmann², O. Gröning³, C.M. Schneider^1,2 und J. Kirschner² — ¹Johannes Gutenberg Universität, D-55099 Mainz — ²MPI für Mikrostrukturphysik, D-06120 Halle — ³Universität Fribourg Suisse, CH-1700 Fribourg

Vorgestellt werden Röntgenabsorptionsmessungen an der Kohlenstoff K-Kante, die mit einem Photoemissionselektronenmikroskop erhalten wurden [1]. Es wurden sowohl amorphe Kohlenstoffschichten, hochorientierter, pyrolythischer Graphit (HOPG) und (100) orientierte CVD-Diamantschichten untersucht. Einige der Proben sind zuvor in einem Wasserstoffplasma behandelt worden. Mittels ortsaufgelöster Röntgenabsorptionsspektroskopie lassen sich anhand charakteristischer Unterschiede in der Nahkantenstruktur (XANES) Bereiche unterschiedlich hybridisierten Kohlenstoffs identifizieren und Aussagen über den Grad der Hybridisierung ableiten. Die abbildende Spektroskopie erlaubt es, die Verteilungen typischer Orbitale mit sub-µ Auflösung auf der Probenoberfläche sichtbar zu machen. Auch (metallische) Verunreinigungen können so bestimmt werden. Dadurch sind Aussagen über die Qualität oder Verwendbarkeit der Schicht möglich. Die EXAFS-Oszillationen wurden zur Bestimmung der lokalen Struktur herangezogen. [1] W. Swiech, G.H. Fecher, Ch. Ziethen, O. Schmidt, G. Schönhense, K. Grzelakowski, C.M. Schneider, R. Frömter, J. Kirschner, J. Elec. Spec. and Rel. Phen. 84 (1997) 171-188