Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 11: Charakterisierungsverfahren II

DS 11.1: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 17:45–18:00, H 31

PLD von ferroelektrischen Pb(Zr_0,52,Ti_0,48)O₃ Dünnschichten: Phasenbildung auf unterschiedlichen Substraten — •R. Klarmann, W. Biegel, B. Schey, M. Hanika, B. Wörz, M. Kuhn und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Mit Hilfe gepulster Laserablation (PLD) wurden dünne Pb(Zr_0,52, Ti_0,48)O₃ (PZT)-Schichten auf unterschiedlichen Substraten (SrTiO₃, MgO, YSZ) aufgebracht. Desweiteren wurde epitaktisches YBa₂Cu₃O_7−x (das als untere Elektrode dient) auf SrTiO₃, MgO, polykristallines Al₂O₃ und auf mit CeO₂ gepuffertem polykristallinen Al₂O₃ abgeschieden und in situ mit Pb(Zr_0,52,Ti_0,48)O₃ beschichtet. Mit Hilfe von XRD, AFM, RBS und TEM wurde die Phasenbildung der stabilen Perowskitphase (ABO₃) im Vergleich zur konkurrierenden metastabilen Pyrochlorphase (A₂B₂O₆O’) in Abhängigkeit von Substratmaterial, Depositionstemperatur und Schichtdicke untersucht.