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DS: Dünne Schichten

DS 12: Plasma- und Ionentechniken

DS 12.4: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 12:00–12:15, H 34

Charakterisierung von carboxylhaltigen Plasmapolymerschichten — •H. Nedelmann¹, Th. Weigel¹, J. Müller² und D. Paul¹ — ¹GKSS-Forschungszentrum, Institut für Chemie, Kantstr. 55, 14513 Teltow — ²Technische Universität Hamburg-Harburg, AB Halbleitertechnologie, Eißendorfer Str. 42, 21073 Hamburg

Carboxylhaltige Plasmapolymerschichten auf Membranen eignen sich für die kovalente Ankoppelung von Enzymen zur Herstellung neuartiger Enzymmembranreaktoren. In dieser Arbeit wurden Polyethylenterephthalat- und Polyethylenfilme durch ein Mikrowellen-Acrylsäureplasma mit Argon als Trägergas beschichtet. Variiert wurden die Plasmaparameter Monomerfluß und MW-Leistung (kontinuierlich und gepulst). Der Einfluß der Plasmaparameter auf den Anteil funktionaler Gruppen in den Schichten wurde mit den Meßverfahren der FTIR-Spektroskopie und der Fluoreszenzspektroskopie untersucht. Im Vergleich zum kontinuierlichen Betrieb erhöht das Pulsen die Carboxylgruppenkonzentration in den Schichten bei vergleichbarer Lösungsmittelbeständigkeit.