Regensburg 1998 – scientific programme

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11:15	DS 12.1	Fachvortrag: In-situ-plasmadiagnostische Charakterisierung der c-BN Ab- scheidung mittels Magnetronzerstäubung — •Thomas Welzel, Rainer Pintaske, Jens Hahn, Siegfried Peter und Frank Richter

11:30	DS 12.2	Fachvortrag: Synthese von Siliziumoxid-Schichten durch Plasma-Immersions- Ionen-Implantation — •I. Großhans, K. Volz, W. Ensinger, B. Rauschenbach und W. Assmann

11:45	DS 12.3	Fachvortrag: Ausheilen von Strahlenschäden durch Ionenbestrahlung in U₃Si₂. — •Petra Meier und S. Klaumünzer

12:00	DS 12.4	Fachvortrag: Charakterisierung von carboxylhaltigen Plasmapolymerschichten — •H. Nedelmann, Th. Weigel, J. Müller und D. Paul