Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 20: Elektrische Eigenschaften
DS 20.3: Fachvortrag
Donnerstag, 26. März 1998, 15:45–16:00, H 31
Modifikation dünner ferroelektrischer Pb(Zr0,52,Ti0,48)O3 (PZT)Schichten mittels Ionenimplantation — •B. Wörz, M. Hanika, R. Klarmann, B. Schey, W. Biegel und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg
Mittels gepulster Laserablation wurden dünne Schichtsysteme
Pb(Zr0,52,Ti0,48)O3/YBa2Cu3O7−x/SrTiO3 (PZT/YBCO/STO) hergestellt.
An diesen Schichtsystemen wurden Implantationsexperimente mit
verschiedenen Ionen (O, Ca, C) im Energiebereich von 100 keV mit dem Ziel durchgeführt,
die PZT-Schicht zu modifizieren. Die dabei auftretenden
Veränderungen der Kristallstruktur, Stöchiometrie und der
ferroelektrischen Eigenschaften wurden mit Hilfe von XRD, RBS und einer
Polarisationsmethode (Sawyer-Tower) untersucht. Es werden Abhängigkeiten
der erzielten Modifikationen von gewählter Ionenart und
Implantationsdosis diskutiert.