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DS: Dünne Schichten

DS 22: Laserverfahren II

DS 22.2: Fachvortrag

Freitag, 27. März 1998, 10:30–10:45, H 31

Sondenlaseruntersuchung der Clusterbildung in der Dampf-
Plasmaphase beim laserinduzierten Materialabtrag — •T. Kramer, M. Aden, A. Husmann, E.W. Kreutz und R. Poprawe — Lehrstuhl für Lasertechnik, Steinbachstraße 15, 52074 Aachen

Bei der Herstellung dünner Schichten mit dem Pulsed Laser Deposition (PLD)-Verfahren beeinflusst das Vorhandensein von Partikeln und Clustern im Dampf/Plasma die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten.
Zur Bestimmung der Clusterradien im laserinduzierten Materialdampf /-plasma eines Aluminium- und Kupfertargets bei Verwendung von CO₂ (λ = 10.6 µ m, τ _p = 3 µ s) und Nd:YAG (λ = 1.06 µ m, τ _p = 2 ms) Laserstrahlung wird die Streuung zweier Sondenlaserstrahlen (λ₁ = 543 nm, λ₂ = 633 nm) an den Dampf-/Plasmateilchen ausgenutzt. Die experimentell bestimmten zeit- und ortsaufgelösten Intensitätsverläufe I(t) folgen dem Lambert-Beer-Gesetz für ein absorbierendes Medium. Aus den experimentellen Daten wird durch Vergleich mit Berechnungen auf Basis der Mie-Theorie ein Äquivalenzradius ermittelt.
Die Abhängigkeit der Clusterradien von der Dampf-/Plasmageometrie wird ortsaufgelöst diskutiert.