Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 22: Laserverfahren II

DS 22.3: Fachvortrag

Freitag, 27. März 1998, 10:45–11:00, H 31

Deposition metallischer Schichten in Ar-Atmosphäre mittels gepulster Laserdeposition — •K. Sturm, H. U. Krebs, M. Weisheit, S. Fähler und M. Störmer — Institut für Metallphysik, Universität Göttingen, Hospitalstr. 3-7, 37073 Göttingen, und SFB 345

Metallische dünne Schichen, die mittels gepulster Laserdeposition (PLD) im Vakuum hergestelt werden, zeigen deutliche Unterschiede zu Schichten, die unter anderen Depositionsverfahren hergestellt werden. Dazu zählen unter anderem eine Aufweitung der Gitterparameter in Wachtumsrichtung, geringe Korngrösse, hohe innere Spannungen, gute Haftung, starke Texturen, hohe Übersättigung nicht mischbarer Systeme und die Bildung von Tröpfchen. Eine wesendliche Rolle spielt dabei die hohe kinetische Energie der deponierten Ionen im Bereich von mehreren hundert eV. Durch Stösse mit Ar-Atomen kann diese kinetische Energie der Ionen stark reduziert werden, was zu deutlichen Änderungen der Schichteigenschaften führt. Diese Änderungen unter Gaseinfluss werden charakterisiert und diskutiert.