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DS: Dünne Schichten

DS 22: Laserverfahren II

Freitag, 27. März 1998, 10:15–11:00, H 31

	10:15	DS 22.1	Fachvortrag: Modifizieren der strukturellen und elektrischen Eigenschaften von AlN mit UV-Laserstrahlung — •St. Geisler, B. Stolz, E.W. Kreutz und R. Poprawe
	10:30	DS 22.2	Fachvortrag: Sondenlaseruntersuchung der Clusterbildung in der Dampf- Plasmaphase beim laserinduzierten Materialabtrag — •T. Kramer, M. Aden, A. Husmann, E.W. Kreutz und R. Poprawe
	10:45	DS 22.3	Fachvortrag: Deposition metallischer Schichten in Ar-Atmosphäre mittels gepulster Laserdeposition — •K. Sturm, H. U. Krebs, M. Weisheit, S. Fähler und M. Störmer