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DS: Dünne Schichten
DS 23: Laserverfahren III
Freitag, 27. März 1998, 11:15–12:00, H 31
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11:15 | DS 23.1 | Fachvortrag: Excimer Laser Annealing beim Abscheiden elektrokeramischer Dünnschichten mit PLD — •B. Vosseler, T. Klotzbücher, M. Maier und E. W. Kreutz |
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11:30 | DS 23.2 | Fachvortrag: Preparation of textured LiNbO3 thin films by off-axis laser deposition — •Kerstin Kaemmer and Ludwig Schultz |
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11:45 | DS 23.3 | Fachvortrag: Carbonnitrid-Schichtabscheidung in variablen Prozeßatmosphären mit einem HF-PLD-Hybridverfahren — •M. Maier, T. Klotzbücher, D.A. Wesner und E. W. Kreutz |