Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.1: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Charakterisierung dünner Cu-Aufdampfschichten mit Hilfe der Atomsonde — •Johanna Strolz und Manfred Leisch — Institut für Festkörperphysik, TU Graz, Petersgasse 18, A-8010 Graz

Die Atomsonde erlaubt den oberflächennahen Bereiches eines metallischer Festkörpers atomar aufgelöst in die Tiefe zu analysieren. Mit der Implementierung einer ortsaufgelösten Erfassung der von der Oberfläche abgelösten Spezies, ist es möglich, das analysierte Volumen in drei Dimensionen zu rekonstruieren. Substratspitzen aus W sind vor der Beschichtung in situ durch Felddesorption gereinigt und feldionenmikroskopisch überprüft worden. Anschließend sind die vorbehandelten Proben in der angeschlossenen Präparationskammer im UHV mit Cu bedampft und danach in der Atomsonde untersucht worden. Die dünnen Cu-Filme (nur wenige Atomlagen dick) zeigen in der 3D-Rekonstruktion atomar scharfe Grenzflächen zum Substrat. Das Felddesorptionsverhalten deutet auf eine eher geringe Haftfähighkeit der dünnen Cu-Filme auf W hin.