Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.13: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Mikrostrukturierung von Cu mit Cl₂ durch lichtstimuliertes Trocken"atzen im VUV-Bereich — •H. Raaf and N. Schwentner — Institut f"ur Experimentalphysik, FU Berlin, Arnimallee 14 ,14195 Berlin

Belichtung von Kupferoberfl"achen bei einem Chlordruck im Bereich von 10⁻² bis 10⁻⁶ mbar mit Synchrotronstrahlung im Spektralbereich von 50 nm bis 300 nm f"uhrt zu einer sehr effizienten lichtstimulierten Reaktion. Es werden bei h"oheren Dr"ucken nichtselektive Beitr"age beobachtet, die in einer Anregung des Cl₂ in der Gasphase zuzuordnen sind. Bei niedrigen Dr"ucken hingegen dominiert in lokal belichteten Regionen der Oberfl"ache die f"ur die Mikrostruktierung relevante selektive Reaktion. "Atztiefen und Schichtdicken der Reaktionsprodukte im Mikrometerbereich werden quantitativ, durch Reproduktion von Ni-Masken in Abh"angigkeit von den Bestrahlungsparametern studiert. AES- und XPS- Untersuchungen der Produkte zeigen, da"s Cu an die Oberfl"ache diffundiert und dort lichtinduziert mit adsorbiertem Chlor reagiert. Die Produkte weisen einen hohen Cu-"Uberschu"s auf und aus dem Quellverhalten folgt, da"s die Dichte wesentlich geringer als die von Kupfermetall ist.