Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.15: Poster

Thursday, March 26, 1998, 15:00–19:00, PF A

Untersuchungen zum Sputtern von Kohlenstoffschichten — •Daniel Rohde¹, Holger Kersten¹, Wolfgang Jacob² und Rainer Hippler¹ — ¹Universität Greifswald, Institut für Physik, Domstr.10a, 17487 Greifswald — ²MPI IPP Garching, Boltzmannstr.2, 85748 Garching

Bei der Deposition von Kohlenstoffschichten mittels Magnetronsputtern in einer Ar/H2-Atmosphäre wurden die inneren Plasmaparameter bestimmt. Dazu wurden Sondenmessungen und die U-I-Charakteristik der Entladung ausgewertet. Parallel zu diesen Messungen wurde die Zusammensetzung der Spezies (Arbeitsgas, gesputtertes Material, Produkte) massenspektrometrisch untersucht. Da die thermische Bilanz der Substratoberfläche die Eigenschaften der deponierten Filme wesentlich beeinflußt, wurde der integrale Energieeinstrom aus dem zeitlichen Verlauf der Substrattemperatur ermittelt. Die einzelnen Beiträge zum Energieeintrag (kinetische Energie der schnellen Neutralen und Ladungsträger, etc.) wurden aus Modellrechnungen abgeschätzt und mit den Anteilen, die bei der a-C:H-Schichtabscheidung in einem ECR-Plasma gemessen wurden, verglichen. Die gesputterten Kohlenstoffschichten wurden mit XPS, XRD, RBS und FTIR analysiert. Dabei zeigte sich eine ausgeprägte radiale Schichtdickenverteilung, die wahrscheinlich von der Sputtercharakteristik des Targets herrührt.