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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.22: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Bestimmung der elastischen Konstanten harter Kohlenstoff- und Bornitridschichten mittels Brillouin-Lichtstreuung — •V. Wiehn, P. Cortina, J. Jorzick, C. Mathieu, K. Jung, and B. Hillebrands — Fachbereich Physik, Universit"at Kaiserslautern, 67653 Kaiserslautern

Mithilfe der Brillouin-Lichtstreuung sind von amorphen hydrogenisier-ten Kohlenstoffschichten und von Bornitridschichten mit verschiedenen Anteilen der kubischen und hexagonalen Phase die Schallgeschwindigkei-ten in Abh"angigkeit vom Wellenvektor gemessen worden. Die diamantarti-gen Kohlenstoffschichten sind durch Plasmastrahldeposition von C₂H₂⁺-Ionen und die Bornitridschichten durch Magnetron-Sputtern mit gleichzei-tigem Ionenplattieren aufgebracht worden. Bei beiden Materialien "andern sich die elastischen Eigenschaften deutlich mit der Ionenenergie. Aus der Dispersion der Phasengeschwindigkeiten der verschiedenen Oberfl"achenwellen sind f"ur eine Reihe von Schichten die Elastizit"atsmoduln f"ur Dehnung und Scherung bestimmt worden. Die Kohlenstoffilme, die bei 420 ^oC herge-stellt wurden, sind weniger hart als die bei Zimmertemperatur unter sonst gleichen Bedingungen erzeugten. F"ur diese nanokristallinen, bei Ionenenergien von ca. 120 eV pro C-Atom aufgebrachten Schichten ergeben sich die Werte 30 und 14 GPa f"ur die Komponenten c₁₁ und c₄₄ des Elastizit"atstensors.