Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Postersitzung
DS 24.34: Poster
Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A
Untersuchungen zur Phasenbildung nach Hochdosis-Implantation von Sauerstoffionen in Metalle — •B. Renner, C. Hammerl, T. Jahn und B. Rauschenbach — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg
Diese Arbeit befaßt sich mit der Hochdosis-Implantation von Sauerstoffionen
in Molybdän und Titan. Die Implantationsenergien variierten von 50 keV bis 180 keV
und die Dosen reichten bis zu 1·1018 O+-Ionen/cm2. Die Implantationen
erfolgten sowohl unter Kühlung mit flüssigem Stickstoff als auch bei höheren Temperaturen.
Untersuchungen zur chemischen Zusammensetzung wurden mittels
Rutherfordrückstreuung (RBS) und Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) durchgeführt.
Die Phasenbildung nach der Implantation und nach anschließender Temperung wurde
im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) und durch Röntgendiffraktometrie (XRD)
untersucht.
Ziel der Untersuchungen ist einerseits die Aufklärung der Prozesse
bei der implantationsinduzierten Phasenbildung in Metallen und andererseits die Herstellung
von oxidischen Schichten mit spezifischen elektrischen und optischen Eigenschaften.