Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.7: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Winkeldispersive Röntgenreflexion an Metallschichten — •U. Niggemeier¹, K. Lischka¹ und V. Holy² — ¹Universität GH Paderborn, FB6 Physik, 33095 Paderborn — ²Lehrstuhl für Festkörperphysik, Masaryk Universität, 61137 Brno, CS

Röntgenreflexion bietet die Möglichkeit die Oberflächenrauhigkeit und Schichtstruktur von dünnen Schichten zu charakterisieren. Mit Hilfe eines Johansson Monochromators in Rowland Geometrie wird ein monochromatischer Röntgenstrahl mit einer Konvergenz von ca. 2^o auf ebene Proben fokussiert. Dadurch treffen Strahlen mit verschiedenem Einfallswinkeln simultan auf die Probenoberfläche und werden dort entsprechend reflektiert. Diesen Meßaufbau nennen wir winkeldispersiv. Messungen der Reflektivität an Nickel- und Chromschichten zeigen, daß neben dem spekular reflektierten Strahl die diffus gestreute Röntgenstrahlung einen merklichen Beitrag zur Gesamtreflektivität liefert. Berechnungen in Distorted Wave Born Approximation (DWBA) mit bekannten Rauhigkeiten geben das Verhalten der gemessenen Gesamtreflektivität gut wieder. Der dispersive Meßaufbau reduziert die Meßzeit auf wenige Sekunden, deshalb schließen wir, daß die von uns vorgestellte Methode dazu geeignet ist, Schichten während des Wachstums (insitu) zu charakterisieren.