Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.8: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Winkelaufgelöste elastische Lichtstreuung zur Morphologiebestimmung von In auf GaAs(001) — •M Bastian, A.M. Frisch, K. Hinrichs, N. Esser und W. Richter — Institut für Festkörperphysik, Technische Universität Berlin

Winkelaufgelöste elastische Lichtstreuung (ARS) wurde zur Untersuchung von Metalladsorbaten auf Halbleiteroberflächen verwendet. Es wurden GaAs(001)-Oberflächen mit In-Bedeckungen verschiedener Dicke mit und ohne Sb als Surfactant im UHV hergestellt. Sie weisen eine präparationsabhängige Morphologie auf, die mit ARS untersucht wurde; die Streulichtverteilungen der von einem HeNe-Laser (633 nm) beleuchteten Proben wurden mittels eines Diodenarrays winkelaufgelöst aufgenommen. Sie sind für die verschiedenen Oberflächen sowohl von den In-Inselgrössen als auch von deren Form abhängig. Aus den ARS-Daten wurden rms-Rauhigkeiten sowie Korrelationslängen berechnet und mit AFM-Messungen verglichen.