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Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

Thursday, March 26, 1998, 15:00–19:00, PF A

15:00 DS 24.1 Charakterisierung dünner Cu-Aufdampfschichten mit Hilfe der Atomsonde — •Johanna Strolz und Manfred Leisch
15:00 DS 24.2 Rietveld-Untersuchungen an dünnen ITO-Schichten — •Marion Quaas und Harm Wulff
15:00 DS 24.3 Infrarotspektroskopische Beobachtungen zur Festphasen-Eisensilizidbildung — •Gerhard Fahsold, Annemarie Lehmann, Axel Bartel und Stephan Ulrich
15:00 DS 24.4 In-situ Untersuchungen an dünnen Schichten mit Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie — •Jens Klimke, Lutz Fischer und Harm Wulff
15:00 DS 24.5 Strukturelle Charakt. vergrabener δ Schichten in Si (100) mit Röntgenstreuung unter streifendem Einfall — •V. Holy, U. Beck, R. Beikler, T. Salditt, T. Metzger und J. Peisl
15:00 DS 24.6 Charakterisierung von epitaxialen Si1−xGex-Schichten mittels diffuser Röntgenstreuung und Röntgenbeugung unter streifendem Einfall — •Z. Kovats, T. Salditt, T.H. Metzger, J. Peisl, K. Ismail und J.O. Chu
15:00 DS 24.7 Winkeldispersive Röntgenreflexion an Metallschichten — •U. Niggemeier, K. Lischka und V. Holy
15:00 DS 24.8 Winkelaufgelöste elastische Lichtstreuung zur Morphologiebestimmung von In auf GaAs(001) — •M Bastian, A.M. Frisch, K. Hinrichs, N. Esser und W. Richter
15:00 DS 24.9 Schichtspannungen optischer Dünnschichten — •T. Flügel, P. Schlott und F. Richter
15:00 DS 24.10 Allotaxie im System Ni-Si auf Si(100) — •Steffen Teichert, Gunter Beddies, Meiken Falke, Henning Giesler und Hans-Jürgen Hinneberg
15:00 DS 24.11 Untersuchung von dünnen Si3N4-Schichten auf GaAs und Si — •T. Dessauvagie, R. Vianden und C.v. Nathusius
15:00 DS 24.12 Electrical Conductivity in Ion Implanted TiO2-Single Crystal — •R. Fromknecht, O. Meyer, I. Khubeis, S. Massing, R.C. da Silva, E. Alves, and L.M. Redondo
15:00 DS 24.13 Mikrostrukturierung von Cu mit Cl2 durch lichtstimuliertes Trocken"atzen im VUV-Bereich — •H. Raaf and N. Schwentner
15:00 DS 24.14 Nanostrukturierung von dünnen Filmen aus amorphem Kohlenstoff durch feldinduzierte Oxidation im Rasterkraftmikroskop — •Thomas Mühl, Hubert Brückl, Dieter Kraut und Günter Reiss
15:00 DS 24.15 Untersuchungen zum Sputtern von Kohlenstoffschichten — •Daniel Rohde, Holger Kersten, Wolfgang Jacob und Rainer Hippler
15:00 DS 24.16 Modellierung und Simulation der Prozesse bei der Plasma-
Immersions-Ionenimplantation
— •M. Paulus, L. Stals, G. Keller, B. Rauschenbach und U. Rüde
15:00 DS 24.17 Untersuchung der Oxidbildung in Titan nach Plasma Immersions Ionenimplantation — •M. Rinner, W. Ensinger, B. Stritzker und B. Rauschenbach
15:00 DS 24.18 Einfluß der Energiebilanz des Substrates beim Sputtern von Aluminium — •Holger Kersten, Gerrit Kroesen, Hans Deutsch und Rainer Hippler
15:00 DS 24.19 Plasmaätzen von Silicidschichten — •Gunter Beddies, Barbara Gebhardt, Meiken Falke, Steffen Teichert und Hans-Jürgen Hinneberg
15:00 DS 24.20 Laserunterstützte Diamantabscheidung auf unbehandeltem
Si(100) in einer Hot-Filament-Anlage
— •R. Schliesing, Q. Wang, V. Buck und H. Zacharias
15:00 DS 24.21 Analyse von heteroepitaktischen Diamantschichten mit nuklearen Methoden — •C. Haug, J. Portmann und R. Brenn
15:00 DS 24.22 Bestimmung der elastischen Konstanten harter Kohlenstoff- und Bornitridschichten mittels Brillouin-Lichtstreuung — •V. Wiehn, P. Cortina, J. Jorzick, C. Mathieu, K. Jung, and B. Hillebrands
15:00 DS 24.23 Zur Instabilität kubischer Bornitridfilme gegenüber elektronischem Energieverlust hoher Energiedichte gezeigt am Beispiel hochenergetischer Ionenbestrahlung mit 170 MeV Iod — •P. Widmayer, D. Schwertberger, M. Wenig, P. Ziemann, A. Bergmaier und G. Dollinger
15:00 DS 24.24 Thermische Stabilität der Bindungsstruktur von amorphen BC-Schichten — •M. Heumann, F. Goschenhofer, C. Becker, J. Geurts, V. Wagner, C. Siry, A. Annen und W. Jacob
15:00 DS 24.25 In situ Diagnostik der Wachstumsprozesse von Bornitridschichten — •A. Lunk
15:00 DS 24.26 Zeigen epitaktische Monolagen Silber bei tiefen Temperaturen metallische Leitfähigkeit? — •O. Pfennigstorf, K. Lang, T. Lüer und M. Henzler
15:00 DS 24.27 MOCVD of TiN Layers monitored by Infrared Spectroscopic Ellipsometry — •Alexander Hausmann and Guenter Weidner
15:00 DS 24.28 Photochemische Vorbehandlung und Funktionalisierung von
Polymeren zur haftfesten, selektiven Metallisierung
— •S. Beil, H. Horn, L. Feige und K. Pochner
15:00 DS 24.29 Phonon Density of States in Amorphous and Crystalline Tb-Fe Thin Films Measured by Inelastic Nuclear Resonant Scattering — •W. Keune, W. Sturhahn, R. Roehlsberger, E.E. Alp, and T. Ruckert
15:00 DS 24.30 Monte-Carlo Simulation des Clusterwachstums von Festkörperschichten — •A. Lebedev, O. Stenzel, A. Stendal, M. Röder, M. Schreiber und C. von Borczyskowski
15:00 DS 24.31 Herstellung von Implantationsmasken f"ur das P-LIGA-Ver"-fahren durch Sputtern mit einem fokussierten Ga+-Ionenstrahl — •R. Menzel, T. Bachmann, and W. Wesch
15:00 DS 24.32 Epitaktische Rekristallisation von C- und N-implantiertem Si und α-Quarz — •F. Harbsmeier, W. Bolse, M. R. da Silva, M. F. da Silva und J. C. Soares
15:00 DS 24.33 Untersuchungen zur Strahlenschädenerzeugung durch Ionenimplantation in KTP — •Th. Opfermann, T. Bachmann und W. Wesch
15:00 DS 24.34 Untersuchungen zur Phasenbildung nach Hochdosis-Implantation von Sauerstoffionen in Metalle — •B. Renner, C. Hammerl, T. Jahn und B. Rauschenbach
15:00 DS 24.35 Tiefenselektive Phasenanalyse Si-ionenimplantierter α-Fe- Oberflächen mittels DCEMS — •M. Walterfang, S. Kruijer, W. Keune, M. Dobler und H. Reuther
15:00 DS 24.36 Reaktionsablauf während der Festphasenreaktion von metallischen Doppelschichten mit Si(100) — •B. Gebhardt, M. Falke, S. Teichert, G. Beddies und H.-J. Hinneberg
15:00 DS 24.37 Influence of Growth Parameters on the Roughness and Morphology of Grown Surfaces — •H. Ketterl, W. E. Hagston, and W. Prettl
15:00 DS 24.38 A Density Functional Tight Binding Study of Structure and Property Correlations in a-CH(:N) Systems. — •Th. K"ohler, Th. Frauenheim, P. Blaudeck, and K. H. Hoffmann
15:00 DS 24.39 Lichtdetektion im Pikosekunden-Zeitbereich mit der YBCO-Atomlagenthermosdule — •R. Stierstorfer, Th. Zahner, S. Reindl, A. Penzkofer, and H. Lengfellner
15:00 DS 24.40 Herstellung und optische Charakterisierung dünner Schichtsysteme für Solarabsorber — •A. Nositschka und W. Theiß
15:00 DS 24.41 Prozeßabhängigkeit der Photolumineszenzspektren von a-Si1−xCx:H Dünnschichten aus flüssigen Organosilanen — •J. Seekamp, J. Niemann und W. Bauhofer
15:00 DS 24.42 Photoluminescence properties and excitation spectra of a-C:H thin films — •J. Seekamp, N. Tomozeiu, J. Niemann, J. Robertson, and W. Bauhofer
15:00 DS 24.43 Ex-situ und in-situ Spektralellipsometrie an ZnO:Al Schichten — •T. Staedler und Michael Vergoehl
15:00 DS 24.44 Oberflächenverstärkte Infrarotabsorption mittels inhomogener Edelmetallfilme — •R. Detemple und W. Theiß
15:00 DS 24.45 Spektroskopische Eigenschaften dünner Filme und Lösungen von Perylen Derivaten — •A. Schäfer, C. Seidel und H. Fuchs
15:00 DS 24.46 Optische Streifenwellenleiter in einkristallinen BaTiO3–Schichten für elektrooptische Modulation — •A. Eckau, L. Beckers, J. Schubert, W. Zander und Ch. Buchal
15:00 DS 24.47 Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch
Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP)
— •M. Neuhaus, M. Götz, G. Eßer, T.A. Scherer und W. Jutzi
15:00 DS 24.48 Präparation und elektronenmikroskopische Charakterisierung von heteroepitaktischen Schichtsystemen — •B. Wiedenhorst, C. Höfener, B. Freitag, W. Mader und R. Gross
15:00 DS 24.49 Optimierung der Reflektivität von Mo/Si-Röntgenspiegeln mittels Ionenpolieren — •I. Kolina, O. Wehmeyer, F. Hamelmann, T. Westerwalbesloh, U. Kleineberg, and U. Heinzmann
15:00 DS 24.50 Ortsauflösende Reflexionsmessungen an Multischicht-Röntgenspiegeln bei λ = 13,5 nm — •A. Aschentrup, S. Rahn, O. Wehmeyer, U. Kleineberg und U. Heinzmann
15:00 DS 24.51 Herstellung einer fokussierenden EUV–Multilayeroptik für ein Labor–Photoelektronenemissionsmikroskop (Labor–XPEEM) — •O. Wehmeyer, I. Kolina, F. Hamelmann, U. Kleineberg, U. Heinzmann, G. Schriever, R. Lebert, O. Schmidt und G. Schönhense
15:00 DS 24.52 Analytische Feldionenmikroskopie von Cu/Nb-Vielfachschichten — •J. Schleiwies, P. Troche, K. Noerthemann, M. Peuker und G. Schmitz
15:00 DS 24.53 Thermal Desorption and Photoelectron Spectroscopy of Fullerene Films Containing Endohedral Li@C60 — •Christian Kusch, Nela Krawez, Ralf Tellgmann, Bernd Winter, and Eleanor E. B. Campbell
15:00 DS 24.54 Thermoelektrische Anisotropie in Kupfer - Konstantan Multilagenstrukturen — •Th. Zahner, R. Förg und H. Lengfellner
15:00 DS 24.55 Magnetische Eigenschaften von Ionen bestrahlten und getemperten Ag/Fe/Ag-(001)-Schichten — •D. Kurowski, J. Pelzl, K. Brand und P. Grünberg
15:00 DS 24.56 Charakterisierung dünner Eisenfilme auf Ag(100) — •H. Wider, M. Dippel, G. Filleböck, B. Graf, U. Kohl, M. Meincken und G. Schatz
15:00 DS 24.57 Interface Studies on Cr/Fe/Cr by Ferromagnetic Resonance and SQUID — •J. Pflaum, J. Pelzl, P. Bödeker, H. Zabel, M. Maryško, P. Sturc, and Z. Frait
15:00 DS 24.58 Einfluß der Textur und mechanischen Spannung auf die Magnetisierung und Magnetostriktion in TbDyFe Dünnschichten — •J. Gleitzmann
15:00 DS 24.59 Einfluß des Antiferromagneten auf magnetische und strukturelle Eigenschaften von Spin-Valves — •C. Loch, K. Röll, W. Maaß und B. Ocker
15:00 DS 24.60 Untersuchung von NiMnSb-Schichtsystemen mit Röntgen- und Neutronenreflektivitätsmessungen — •J.-P. Schlomka und W. Press
15:00 DS 24.61 Einfluss der relativen Feuchte während des Filmbildungsprozesses auf die Struktur ultradünner Polymerfilme — •U. Hecht, C.M. Schilz und M. Stratmann
15:00 DS 24.62 Untersuchungen zur Strukturierung dünnster Polymerfilme — •C.M. Schilz, U. Hecht und M. Stratmann
15:00 DS 24.63 Dünne Calixarenschichten auf modifizierten Goldoberflächen: Kombinierte IRAS- und TDS-Untersuchungen — •O. Maute, K.D. Schierbaum, B. Liedberg und H. Kariis
15:00 DS 24.64 SERS-Effekt an ultradünnen organischen Schichten mit Metallclustern — •Thomas Werninghaus, Steffen Wilbrandt, Alexander Stendal, Michael Röder, Olaf Stenzel, Steffen Wilbrandt, Christian v. Borczyskowski und Dietrich R.T. Zahn
15:00 DS 24.65 Untersuchung der Belegung eines Cyaninfarbstoffes auf Polyacrylat mittels Absorptionsspektroskopie und Monte Carlo Simulationen — •R. Ellerbrake, Th. Dziomba, A. Naber und H. Fuchs
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