DS 3: Harte Schichten I
Monday, March 23, 1998, 14:00–15:00, H 31
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14:00 |
DS 3.1 |
Fachvortrag:
Bildung und Relaxation von kompressivem Stress in ionenstrahldeponierten ta-C Schichten — •Hans Hofsäss, Michael Sebastian, Horst Feldermann, Rainer Merk und Carsten Ronning
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14:15 |
DS 3.2 |
Fachvortrag:
Molekulardynamische Untersuchung des Schichtsystems Diamant / amorpher Kohlenstoff / Silizium — •Florin Fugaciu, Helmut Hermann, Gotthard Seifert, Thomas Heine und K. Wetzig
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14:30 |
DS 3.3 |
Fachvortrag:
Synthese, Charakterisierung und Anwendungen dünner Schichten aus Fluorhaltigem tetraedrisch gebundenem amorphem Kohlenstoff (ta-C:F) — •Rainer Merk, Markus Restle, Horst Feldermann und Hans Hofsäss
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14:45 |
DS 3.4 |
Fachvortrag:
Prinzip und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle — •M. Mayer, M. Haag und H. Oechsner
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