Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 4: Harte Schichten II

DS 4.1: Fachvortrag

Monday, March 23, 1998, 15:15–15:30, H 31

Raumtemperaturdeposition von dünnen Schichten aus kubi-
schem Bornitrid — •Hans Hofsäss, Horst Feldermann, Rainer Merk, Markus Restle und Carsten Ronning — Fakultät für Physik, Universität Konstanz, D-78457 Konstanz

Mit Hilfe von massenseparierter Ionenstrahldeposition wurden BN-Schichten auf Si- Substraten mit unterschiedlichen Ionenenergien E_Ion und bei unterschiedlichen Substrattemperaturen T_S abgeschieden. Dabei zeigen sich charakteristische Schwellwerte von T_S =150 ^oC und E_Ion = 125 eV, oberhalb derer die Bildung der kubischen Phase (c-BN) beobachtet wird. Wird zunächst eine c-BN Schicht bei geeigneten Depositionsbedingungen gewachsen, so kann dann die Substrattemperatur bis auf Raumtemperatur reduziert werden, ohne daß das c-BN Wachstum abbricht. Ebenso kann auch die Ionenenergie unterhalb der Schwellenenergie reduziert werden. Dies zeigt, daß die Schwellwerte charakteristisch für die Nukleation, nicht aber für das Wachstum von c-BN sind. Modellvorstellungen zur Nukleation und zum Wachstum werden auf der Basis dieser Experimente diskutiert. Es werden auch Experimente zur Raumtemperaturdeposition von c-BN auf c-BN-Schichten vorgestellt.