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DS: Dünne Schichten

DS 4: Harte Schichten II

DS 4.3: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 15:45–16:00, H 31

Mechanische Eigenschaften von Kohlenstoffnitridschichten, hergestellt mittels ionenstrahlgestützter gefilterter Vakuumbogenverdampfung — •Christian Spaeth¹, Michael Kühn¹, Frank Richter¹, Thomas Chudoba¹ und Ulrich Kreissig² — ¹Technische Universität Chemnitz, D–09107 Chemnitz — ²Forschungszentrum Rossendorf, Postfach 510919, D–01314 Dresden

Kohlenstoffnitridschichten mit Stickstoffkonzentrationen von 0 bis19 At.% und Dichten von 2.9 bis 2.4 g/cm³ wurden mittels ionenstrahlgestützter gefilterter Vakuumbogenverdampfung hergestellt.

Registrierende Mikrohärtemessungen ergaben Härtewerte von 72 GPa für reine Kohlenstoffschichten (ta-C) und 37 GPa für CN_0.23–Schichten.

Abrasiver und adhesiver Verschleiß wurden mit einem Kalottentester und einem Schwingverschleißtester erfasst. Die Verschleißbeständigkeit für beide Verschleißarten verschlechtert sich durch den Einbau von Stickstoff. Die Verschleißbeständigkeit der CN_0.23–Schichten liegt jedoch immer noch über der von Standard–a-C:H–Schichten.

Im Scratchtest sind die CN_0.23–Schichten den Schichten mit geringeren Stickstoffgehalten überlegen. Es werden kritische Lasten von 50 N für die CN_0.23–Schichten erreicht, wohingegen die an Stickstoff ärmeren Schichten nur kritische Lasten bis 26 N aufweisen.