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DS: Dünne Schichten

DS 4: Harte Schichten II

Montag, 23. März 1998, 15:15–16:15, H 31

	15:15	DS 4.1	Fachvortrag: Raumtemperaturdeposition von dünnen Schichten aus kubi- schem Bornitrid — •Hans Hofsäss, Horst Feldermann, Rainer Merk, Markus Restle und Carsten Ronning
	15:30	DS 4.2	Fachvortrag: Messung intrinsischer Spannungen bei der ionengestützten Herstellung kubischer Bornitrid Schichten — •M. Zeitler, S. Sienz, J.W. Gerlach, D. Schrupp und B. Rauschenbach
	15:45	DS 4.3	Fachvortrag: Mechanische Eigenschaften von Kohlenstoffnitridschichten, hergestellt mittels ionenstrahlgestützter gefilterter Vakuumbogenverdampfung — •Christian Spaeth, Michael Kühn, Frank Richter, Thomas Chudoba und Ulrich Kreissig
	16:00	DS 4.4	Fachvortrag: Mehrstrahl-Sputterdeposition von TiN zur gezielten Einstellung der Schichttextur — •M. Schafft and H. Oechsner