Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Dünne Schichten für Sensorik und Aktuatorik I

DS 6.1: Hauptvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 09:30–10:15, H 31

Mechanische Eigenschaften von Schichten und Schichtsystemen im Bereich der Sensorik — •E. Blank^1,2 und J. Michler^1,2 — ¹Laboratoire de Métallurgie Physique, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne — ²CH-1015 Lausanne

Die mechanischen Eigenschaften von Mikrosensoren und den zugrunde liegenden Schichtsystemen sind nicht nur für deren Funktionsverhalten sondern auch für den Herstellungsprozeß, die Zuverlässigkeit und Lebensdauer von Bauteilen von Bedeutung. Da Mikrosensoren Materialverbunde darstellen, ergibt sich ihr mechanisches Verhalten aus dem Zusammenspiel von Sensordesign, Materialauswahl und Herstellungsverfahren. Von großer Wichtigkeit sind die inneren Spannungen sowie die mikrostrukturelle Optimierung im werkstofftechnischen Sinn. Der Vortrag gibt einen Überblick über den Spannungsaufbau in Schichtsystemen und die Messung mechanischer Größen im Mikrobereich. Versagenskriterien sowie die Möglichkeiten struktureller Optimierung werden erläutert. Hervorgehoben werden Ergebnisse aus dem Bereich der Nanoindentation und der numerischen Simulation. Die Beispiele beziehen sich vorrangig auf in der Sensorik gebräuchliche Materialien sowie Schichten auf Kohlenstoffbasis.