Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Dünne Schichten für Sensorik und Aktuatorik I

DS 6.2: Hauptvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 10:15–11:00, H 31

Diamant, ein neues Material für Sensoren, Aktuatoren und Mikrosysteme — •W. Hänni, D. Morel, P. Niedermann, A. Perret und N. Skinner — CSEM, Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Jaquet-Droz 1, CH 2007 Neuchatel, Schweiz

Mit Diamantfilmen von 0,1 bis 2 mm Dicke wurden für chemische Umwandlungsprozeße und analytische Anwendungen erfolgreiche und vielversprechende Resultate erhalten. Bordotierte Diamantelektroden gestatten im Wasser die direkte quantitative Analyse von Chlor sowie die Zersetzung von organische Verbindungen direkt zu CO₂, ohne Bildung von toxischen intermediären Verbindungen. Als Gassensor eignet sich Diamant für die selektive Erfassung von atomarem Sauerstoff unter Weltraumbedingungen. Mit dem gleichen Sensoraufbau können unter terrestrischen Bedingungen auch Sauerstoffradikale nachgewiesen werden. Für die selektive Bestimmung von Wasserstoff und Ammoniak, aber auch von diskreten UV-Strahlungen sind neue Bauelemente in Entwicklung. Diamantbeschichtete Siliziumspitzen sowie reine Diamantspitzen als Sensoren und Aktuatoren in der Mikro- und Nanotechnologie (AFM) sind in Feldversuchen und teilweise bereits auf dem Markt erhältlich.