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DS: Dünne Schichten

DS 6: Dünne Schichten für Sensorik und Aktuatorik I

Dienstag, 24. März 1998, 09:30–11:00, H 31

	09:30	DS 6.1	Hauptvortrag: Mechanische Eigenschaften von Schichten und Schichtsystemen im Bereich der Sensorik — •E. Blank und J. Michler
	10:15	DS 6.2	Hauptvortrag: Diamant, ein neues Material für Sensoren, Aktuatoren und Mikrosysteme — •W. Hänni, D. Morel, P. Niedermann, A. Perret und N. Skinner