Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 8: Dünne Schichten für Sensorik und Aktuatorik II

DS 8.1: Hauptvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 14:00–14:45, H 31

Magnetostriktive, piezoelektrische und Formgedächtnis-Schichten für Aktuatorik und Sensorik — •E. Quandt — Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Materialforschung I, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe

Die Entwicklung komplexer Mikrosysteme mit der Integration von elektronischen, sensorischen und aktorischen Bauelementen auf einem gemeinsamen Basismaterial stellt eine große Herausforderung an die Materialforschung dar. Speziell die Dünnschichtherstellung von Funktionsmaterialien basierend auf den physikalischen Effekten der Magnetostriktion, des Piezo- und des Formgedächtniseffekts bietet dabei eine interessante Möglichkeit für die Realisierung integrierbarer Mikroaktoren bzw. -sensoren für mechanische Größen. Dabei ergänzen sich die verschiedenen Werkstoffe in ihrem Eigenschaftsprofil z.B. durch ihre unterschiedlichen Ansteuerungen, Aufbauten und Herstellungstechnologien. Der Vortrag enthält eine Darstellung der verschiedenen erfolgreich realisierten PVD-Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer, magnetostriktiver und Formgedächtnis-Schichten und Schichtaufbauten. Die Eigenschaften magnetostriktiver Ein- und Viellagenschichten, piezoelektrischer ZnO- und PZT-Schichten, und von Filmen des Systems Ti-(Ni-Pd-Cu) mit Formgedächtnis werden dargestellt und mit denen der anderen Prinzipien verglichen. Das Potential dieser Schichten für aktuatorische und sensorische Applikationen wird diskutiert.