Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 8: Dünne Schichten für Sensorik und Aktuatorik II

DS 8.2: Invited Talk

Tuesday, March 24, 1998, 14:45–15:30, H 31

Gassensoren in neuen Anwendungsfeldern — •D. Kohl — Institut für Angewandte Physik, Universität Gießen, Heinrich-Buff-Ring 16, D-35392 Gießen

Voraussetzung für den Einsatz von Gassensoren in komplexeren Anwendungsfeldern ist das Verständnis der beteilgten Oberflächenreaktionen. Hier soll zunächst über Reaktionsstudien mit verschiedenen Gasen auf Galliumoxid und Zinndioxid berichtet werden. Verbesserte Gebrauchseigenschaften sind durch mikrostrukturierte Substrate möglich. Dies soll am Beispiel eines Ozonsensors mit Selbstüberwachung gezeigt werden. Neue Möglichkeiten eröffnen sich beim kombinierten Einsatz mehrerer Sensoren. Als erstes Beispiel soll dazu die Entwicklung eines Schwelbranderkennungssystems für Kohlekraftwerke erläutert werden, das seit einigen Jahren im Einsatz ist. Diese Geräte werden in Gruppen von 10 bis 20 Einzelgeräten eingesetzt und dürfen als Gruppe nicht mehr als einen Fehlalarm im Jahr auslösen. Daraus resultieren Anforderungen an die Sensorelemente und deren Signalverarbeitung, die erläutert werden. Abschließend soll über die Anwendung von Schichtsensoren zur Geruchserkennung im Lebensmittelbereich berichtet werden.