Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 14: Bauelemente II

HL 14.1: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 10:30–10:45, H17

Mikro-Photodioden Arrays als Netzhautimplantate und deren externe Energieversorgung — •A. Hierzenberger, H.J. Lehner, H.N. Wanka und M.B. Schubert — Institut für Physikalische Elektronik, Universität Stuttgart

Um erblindeten Menschen wieder einen Seheindruck zu ermöglichen, sollen Mikro-Photodioden Arrays (MPDA) die Funktion der natürlichen Photorezeptoren übernehmen. Die hohe optische Absorption von amorphem Silicium (a-Si:H) erlaubt es, ultradünne Implantate herzustellen, unter 150 ^∘C können MPDAs auf flexible Substrate aufgebracht und so an den gekrümmten Augenhintergrund angepaßt werden. Die photovoltaisch aus dem ins Auge fallende Licht gewonnene elektrische Leistung reicht jedoch zur Anregung einer retinalen Antwort vermutlich nicht aus. Daher entwickeln wir Konzepte für eine zusätzliche Energieversorgung der MPDAs mittels extern eingekoppelter Infrarotstrahlung. Eine a-Si:H Schicht als ganzflächig aufgebrachter Photoleiter soll entsprechend der Projektion des sichtbaren Bildes auf die Netzhaut den Strom einer global durch Infrarotstrahlung versorgten Solarzelle lokal durchschalten. In ersten Versuchen mit einkristallinen Infrarot-Dioden haben wir den Einfluß von Banddiskontinuitäten, optischem Übersprechen und Bahnwiderständen im a-Si:H untersucht. Außerdem berichten wir über die thermokatalytische Abscheidung von nanokristallinem Silicium, welches als Infrarotabsorber von komplett in Dünnschichttechnik ausgeführten MPDAs verwendet wird.