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HL: Halbleiterphysik

HL 17: Symposium: Kohlenstoffhaltige Halbleiterschichten

HL 17.1: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 10:30–11:00, H1

Diamantscheiben für thermische und optische Anwendungen — •Wolfgang Müller-Sebert und Peter Koidl — Fraunhofer Institut für Angewandte Festkörperphysik, Tullastraße 72, D-79108 Freiburg

Diamant ist aufgrund seiner herausragenden mechanischen, thermischen, optischen und elektronischen Eigenschaften ein technischer Werkstoff für extreme Anwendungen. Der Vortrag berichtet über die Herstellung freistehender Diamantscheiben mittels plasmaunterstützter Gasphasenabscheidung (CVD) und deren Charakterisierung. Die Entwicklung neuartiger Mikrowellen-Plasma-CVD-Anlagen (6 kW, 2.45 GHz) und deren Hochskalierung (60 kW, 915 MHz) wird dargestellt. Es wurden Diamantschichten bis 15 cm Durchmesser und freistehende Scheiben bis 2 mm Dicke realisiert. Die thermischen, optischen und thermooptischen Eigenschaften wurden detailliert untersucht. Unter optimierten Bedingungen besitzen die Diamantproben nahezu identische Eigenschaften wie Typ IIa Diamant-Einkristalle. Anwendungen von CVD-Diamantscheiben zur Kühlung von Leistungsbauelementen der Mikro- und Optoelektronik sowie als belastbare Strahlungsfenster (z.B. Hochleistungs-Laser- und Mikrowellenfenster) werden vorgestellt.