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HL: Halbleiterphysik

HL 2: Poster I

HL 2.55: Poster

Montag, 23. März 1998, 10:30–19:00, A

Stickstoff-Dotierung von ZnSe mit neuen MOVPE-Quellen — •U.W. Pohl , C. Möller und W. Richter — TU Berlin, Institut für Festkörperphysik, Sekr. PN6-1, Hardenbergstr. 36, D-10623 Berlin

Für die — bisher nicht befriedigend gelöste — p-Dotierung von ZnSe mit Stickstoff in der Metallorganischen Gasphasenepitaxie wurden unterschiedliche Arten von Stickstoff-Verbindungen getestet. Während sich Zink-Amide mit direkter Zn-N-Bindung bei üblichen VI/II-Verhältnissen nahe eins als ungeeignet erwiesen, führen bei sekundären Aminen Si-Atome in den Liganden zu aktiver Stickstoffdotierung. Bei Verbindungen mit mehr als einer Stickstoff-Funktion wurden bei Dotierung mit Hydrazin-Derivaten aktive Stickstoffakzeptoren in ZnSe gemessen. In dem Beitrag werden unterschiedliche Ansätze für Dotierverbindungen vorgestellt und die Ergebnisse anhand der Photolumineszenz dotierter ZnSe-Epischichten diskutiert.