Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 21: Quantendr
ähte

HL 21.14: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 19:15–19:30, H1

Untersuchung des Verzerrungszustands von Oberflächengittern, Quantendrähten und Quantenpunkten mit Röntgenbeugung bei streifendem Einfall — •Daniel Lübbert^1,2, Tilo Baumbach^1,3, Silvia Ponti^1,3 und Ullrich Pietsch⁴ — ¹ESRF, BP 220, F-38043 Grenoble Cedex — ²Fraunhofer-IZFP, Uni, Gebäude 37, D-66123 Saarbrücken — ³Fraunhofer-IZFP, Krügerstraße 22, D-01326 Dresden — ⁴Institut für Festkörperphysik, Universität Potsdam, 14415 Potsdam

Röntgenbeugung wird heutzutage vielfach angewendet, um Halbleiter-Nanostrukturen zu charakterisieren. Wir haben Röntgenbeugung bei streifendem Einfall (GID) erstmals angewandt, um das Verzerrungsfeld in epitaktisch gewachsenen Oberflächengittern zu untersuchen. Mit einer Mehrkristall-Anordnung in nicht-komplanarer Geometrie konnten wir hochauflösende Messungen in drei Dimensionen realisieren. Dabei liefern verschiedene Bragg-Reflexe komplementäre Informationen über Form und Verzerrungsfeld der Gitter. Die Leistungsfähigkeit der Methode wird an mehreren Beispielen demonstriert. Insbesondere erlaubt GID es, vergrabene Gitter tiefenaufgelöst zu untersuchen. Unsere experimentellen Ergebnisse hierzu zeigen ein seitlich periodisches Verzerrungsfeld, das in der Region des Gitters seinen Ursprung hat. Es reicht jedoch weit über diese Region hinaus und konnte bis zur Oberfläche der homogenen Deckschicht nachgewiesen werden. Wir vergleichen unsere Messungen mit numerischen Ergebnissen der Elastizitätstheorie.