Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 21: Quantendr
ähte

HL 21.6: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 17:15–17:30, H1

Superfacettierung von Si(100) zur Erzeugung von Nanostrukturen — •M. Horn-von Hoegen, D. Kähler, R. Hild, A. Meier und F.-J. Meyer zu Heringdorf — Institut für Festkörperphysik, Universität Hannover, Appelstrasse 2, 30167 Hannover

Monolagenadsorption von Au auf vicinalen Si(100) Substraten führt zur selbstorganisierten Ausbildung von 1-dimensionalen Nanostrukturen: die glatte, regelmäßig gestufte Ausgangsfläche zerfällt in eine hill-and-valley Struktur von mm langen und bis zu µm breiten ebenen (100)-Terrassen und ebenso langen noch schmaleren Facetten, die die makroskopische Fehlneigung von 4^∘ kompensieren. Treibende Kraft für diesen bei 850^∘C stattfindenden Prozess ist die Energieabsenkung durch Gold Adsorption. Die Ordnung und Länge dieser Superterrassen hängt von der Adsorptionstemperatur ab. Auf diesen bis zu 4 mm langen Superterrassen sollen im weiteren über selektive Epitaxie Metallnanodrähte einer Breite von 200 nm und einer Länge im mm Bereich aufgebracht werden.