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HL: Halbleiterphysik

HL 24: Poster II

HL 24.123: Poster

Mittwoch, 25. März 1998, 10:30–19:00, A

Erhöhung der spektralen Empfindlichkeit photoleitender Terahertzempfänger für Frequenzen oberhalb von 2THz — •Ingrid Wilke — Institut für Angewandte Physik, Universität Hamburg, Jungiusstr.11, 20355 Hamburg

In diesem Beitrag wird über einen Ansatz zur Ausweitung des für die zeitaufgelöste kohärente THz-spektroskopie nutzba- ren Frequenzbereiches durch Verbesserung der spektralen Em- pfindlichkeit photoleitender THz-Detektoren für Frequenzen hö- her als 2THz berichtet. Im Zentrum des Ansatzes steht die syste- matische Untersuchung der Empfangseigenschaften der Metalldünn- filmantenne. Die Antennen werden auf einer 0.5µ m dünnen Polysiliziumschicht strukturiert, die durch 0.7µ m thermi- sches SiO₂ vom hochohmigen Siliziumsubstrat elektrisch iso- liert ist. Durch die Präparation der Antennen auf hochohmigen Si-Wafern wird die im Vergleich zu Saphir- und GaAs-Substraten hohe Transparenz des Si im Bereich 2-10THz ausgenutzt. Um die zur Detektion hoher Frequenzen erforderliche Justiergenauigkeit der Antenne im Fokus der Linse von 10µ m zu erzielen werden auf der Rückseite des Si-Substrats mittels doppelseitiger Belich- tung Justiermarken angebracht. Die dadurch erzielte Justiergenau- igkeit ermöglicht die Herstellung von THz-empfängern mit iden- tischen Eigenschaften und damit die Untersuchung der Empfangsei- genschaften von Antennen unterschiedlicher Geometrie.