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HL: Halbleiterphysik

HL 24: Poster II

HL 24.63: Poster

Mittwoch, 25. März 1998, 10:30–19:00, A

Photolumineszenz und resonante Ramanspektroskopie an Siliziumfilmen, die durch größenselektierte Clusterstrahldeposition hergestellt wurden — •B. Kohn¹, M. Ehbrecht¹, F. Huisken¹, M.A. Laguna² und V. Paillard² — ¹Max-Planck-Institut für Strömungsforschung, Bunsenstr. 10, D-37073 Göttingen — ²Laboratoire de Physique des Solides, Université Paul Sabatier, 118, Route de Narbonne, 31062 Toulouse Cedex 4, France

In einem Strömungsreaktor werden nanoskalige Siliziumcluster durch laserinduzierte Reaktionen aus der Gasphase hergestellt. Diese Cluster werden in einen Molekularstrahl überführt und in einem Flugzeitmassenspektrometer analysiert. Da die Cluster eine größenabhängige Geschwindigkeit haben, kann mittels eines Choppers eine schmale Größenverteilung selektiert werden. Mit Hilfe dieser Technik wurden Substrate mit Siliziumclustern verschiedener Größenverteilungen (D=2-7nm)beschichtet. Anschließend wurden diese Substrate mittels Photolumineszenz- und Raman-Spektroskopie untersucht. Die mit Hilfe der Ramanspektroskopie bestimmte Kristallitgröße stimmt mit den Ergebnissen der Flugzeitmassenspektrometrie überein. Das Maximum der Photolumineszenzkurve der deponierten Cluster verschiebt sich mit abnehmender Clustergröße zu kleineren Wellenlängen. Diese Resultate stimmen gut mit theoretischen Vorhersagen für Quantenpunkte aus Silizium überein.