Regensburg 1998 – scientific programme
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HL: Halbleiterphysik
HL 26: Photovoltaik IV
HL 26.2: Talk
Thursday, March 26, 1998, 10:45–11:00, H13
Absorptions- und Transporteigenschaften in mikrostrukturierten amorphen Silizium Solarzellen — •C. Eisele1, B. Dahlheimer1, C. Nebel1, M. Stutzmann1, H. Brummack2 und H. Wanka2 — 1Walter Schottky Institut, TU München, Am Coulombwall, 85748 Garching — 2Institut für Physikalische Elektronik, Universität Stuttgart, am Pfaffenwaldring 47, 70569 Stuttgart
Die periodische Strukturierung der p1ex+-Elektrode ist eine vielversprechende Möglichkeit, die
Absorptionseigenschaften von Dünnschichtsolarzellen weiter zu verbessern und bietet damit eine
Alternative zu texturiertem TCO. Die Strukturierung erfolgt durch Dreistahl-Laserinterferenz-Rekristallisierung einer amorphen
Ausgangsschicht und einem anschließenden anisotropen Trockenätzschritt in einem Wasserstoffplasma.
Durch die Messung der spektralen Quanteneffizienz und der ortsaufgelösten Photoleitung (OBIC) wurden
die Zellen bezüglich ihrer elektronischen und optischen Eigenschaften charakterisiert. Es zeigt
sich eine verbesserte Absorption für den Rotanteil des Sonnenspektrums, auch im Vergleich mit
Zellen, die auf texturiertem TCO hergestellt werden, schneiden diese Zellen dort besser ab. Der Wirkungsgrad liegt bei
≃ 9%. Die Eigenschaften der Lateralstrukturierung auf die Solarzelleneigenschaften
werden diskutiert und mit konventionellen p-i-n Solarzellenverglichen verglichen.