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HL: Halbleiterphysik

HL 42: Unkonventionelle Halbleiter

HL 42.6: Talk

Friday, March 27, 1998, 12:45–13:00, H17

Interferenzfilter aus porösem Silizium mit lateral unterschiedlicher Refelxionswellenlänge — •D. Hunkel, R. Butz, M. Thönissen, M. Krüger, R. Arens-Fischer und H. Lüth — Institut für Schicht und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH D-52425 Jülich

Interferenzfilter mit lateral unterschiedlicher Reflexionswellenlänge können für Anwendungen in Miniaturspektrometern oder Sensoren verwendet werden. Konventionelle Herstellungsverfahren sind momentan teuer und aufwendig. Interferenzfilter aus porösem Silizium sind dagegen leicht und kostengünstig herzustellen. Die lateral unterschiedliche Reflexionswellenlänge kann durch eine laterale Strukturänderung erreicht werden. Diese kann durch punktuell unterschiedliche Ätzraten erzeugt werden. Es sind mehrere Verfahren denkbar um lateral unterschiedliche Ätzraten zu generieren. In Betracht kommen laterale Variation der Temperatur, der Beleuchtung, der elektrischen oder magnetischen Feldstärke. Es werden Ergebnisse und Präperationstechniken für unterschiedliche Verfahren vorgestellt.