Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 5: Bauelemente I

HL 5.8: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 12:15–12:30, H17

Optische Ankopplung ultraschneller Silizium-Photodetektoren an Polymerwellenleiter — •M. Siegert, M. Löken, Ch. Glingener* und Ch. Buchal — Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52425 Jülich * Institut für Hochfrequenztechnik, Universität Dortmund, Otto-Hahn-Str. 6, 44227 Dortmund

Wir stellen ein elegantes Konzept zur effizienten Ankopplung von optischen Wellenleitern an unsere ultraschnellen Photodetektoren vor. Die optischen Wellenleiter werden lithographisch in Polymertechnologie hergestellt. Die resonante Kopplung an die photos ensitive Schicht der MSM-Detektoren wurde mit numerischen Simulationen der Strahlpropagation (BPM, beam propagation method) optimiert. Die gemessenen Photoströme der Dioden bei Beleuchtung durch die Wellenleiter verifizieren die Berechnungen. Die Dioden zeigen eine Signalhalbwertsbreite von 3.5 ps.