Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 8: Halbleiterlaser

HL 8.2: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 16:15–16:30, H16

Übergitter-DFB-Laser im Materialsystem InGaAs(P)-InP — •R. Schreiner¹, J. Wiedmann¹, M. Geiger¹, J. Porsche¹, M. Jetter¹, K. Wünstel², F. Scholz¹ und H. Schweizer¹ — ¹4. Physikalisches Institut der Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 57, D-70550 Stuttgart — ²Forschungszentrum ALCATEL SEL Stuttgart, Motorenstr. 15, D-70499 Stuttgart

Übergitter DFB- (=distributed feedback) Laser sind Laser, deren Gitterperiode sich aus einer geeigneten Mischung von Unterperioden aufbaut zur Erzielung mehrerer Wellenlängenkanäle und/oder zur präzisen Feineinstellung der Braggwellenlänge. Verstärkungsgekoppelte (GC) DFB-Laser lassen sich zu gekoppelten Laserresonatoren aufbauen, die als Filter wirken und bei geeigneter Ansteuerung als λ-Schalter wirken. Die Herstellung der Übergitter (super gratings, SG) erfolgt mittels Elektronenstrahlithographie und Trockenätzen. Zur Erzielung der Verstärkungskopplung wurde eine schädigungsarme Trockenätztechnik (ECR-RIE) in Verbindung mit einem MOVPE Überwachsschritt entwickelt. Wir präsentieren speziell abgestimmte Übergitterstrukturen, die das Potential als Wellenlängenfilter besitzen und den Aufbau von Wellenlängenkanälen mit bestimmten Kanalabstand erlauben. In einer weiteren Anwendung von SG-DFB präsentieren wir die Erzeugung starker Dipolfelder in einem DFB-Resonator mit dem Potential zur lichtinduzierten schnellen Schaltung des Lasers.