Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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M: Metallphysik

M 13: Innere Grenzflächen II

M 13.7: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 12:30–12:50, H 33

Grenflächenstruktur epitaktischer Niobfilme auf Saphir — •Wolfgang Donner¹, M. Bernards¹ und H. Dosch² — ¹Universität Wuppertal — ²Max-Planck-Institut für Metallphysik

Epitaktische Niobfilme auf Saphir gelten als Modellsystem für die Metall-Keramik Grenzfläche. Wir haben mittels Röntgenstreuung an Niobfilmen unterschiedlicher Dicke die Spannungsrelaxation durch Einbau von Fehlanpassungsversetzungen untersucht. Voll verspannte Filme zeigen eine ausgeprägte Asymmetrie des Streuprofils senkrecht zur Oberfläche. Es wird ein Strukturmodell vorgestellt, das einen Spannungsgradienten an der Substrat-Film Grenzfläche beinhaltet und die Asymmetrie erklärt. Weiterhin werden Messungen der diffusen Streuung, die durch Versetzungen verursacht wird, gezeigt und mit der Spannungsrelaxation korreliert.