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M: Metallphysik
M 16: Diffusion
M 16.8: Vortrag
Dienstag, 24. März 1998, 17:50–18:10, H 39
Diffusion von Germanium in der amorphen Keramik Si26C41N33 — •S. Matics1,2, P. Scharwaechter1,2, W. Frank1,2, K. Freitag3, J. Bill1 und F. Aldinger1 — 1MPI f. Metallf., Stuttgart — 2Inst. f. Theor. u. Angew. Phys. der Univ. Stuttgart — 3Inst. f. Strahlen- u. Kernphysik der Univ. Bonn
Die Diffusion von 71Ge in amorphem Si26C41N33 wurde mit Hilfe der Radiotracer-Methode untersucht. Die Proben wurden aus Polyvinylsilazan durch Pyrolyse bei 1050∘C hergestellt. Die Diffusionstemperungen erfolgten zwischen 800∘C und 1300∘C. Unterhalb der Herstellungstemperatur gehorcht der Diffusionskoeffizient einem Arrhenius-Gesetz (Aktivierungsenthalpie 4,5 eV, präexponentieller Faktor 4·10−2m2/s). Oberhalb der Herstellungstemperatur ist die Diffusion langsamer, als man aufgrund einer Extrapolation dieses Arrhenius-Gesetzes erwarten würde. Erklärungsmöglichkeiten werden diskutiert.