Regensburg 1998 – scientific programme

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M: Metallphysik

M 17: Nanokristalle I

M 17.5: Talk

Tuesday, March 24, 1998, 16:30–16:50, H 33

Herstellung von nanostrukturierten Filmen durch einen Desintegrationprozess in Multilagen — •P. Troche¹, J. Hoffmann¹, K. Heinemann¹, J. Schleiwies¹, D. Rudolph² und H.C. Freyhardt¹ — ¹Institut für Metallphysik, Universität Göttingen, Hospitalstraße 3-7, D-37073 Göttingen — ²Forschungseinrichtung Röntgenphysik, Universität Göttingen, Geiststraße 11, D-37073 Göttingen

Dreidimensional nanostrukturierte dünne Filme, die durch Abscheidung von Clustern oder durch Ausscheidung aus einer übersättigten Matrix entstehen, führen in der Regel zu Nanopartikeln, die statistisch in der Matrix verteilt sind. Durch den hier vorgestellten Prozess der Desintegration von Nb/Cu-Multilagen bei Temperaturen oberhalb von 450^oC entstehen Nb-Nanopartikel innerhalb von Ebenen, deren Abstand durch die Cu-Lagendicke in den Multilagen bestimmt wird. Der Durchmesser der Nanopartikel nimmt dabei mit steigender Auslagerungstemperatur zu und strebt logarithmisch gegen einen temperaturabhängigen Grenzwert. Ähnlich wie das System Nb/Cu verhält sich auch das System Al/Ge, die Desintegrationstemperatur liegt jedoch aufgrund des niedrigeren Schmelzpunktes der beteiligten Materialien unterhalb von 450^oC.
Die Mikrostruktur der Proben wurde mittels Röntgen-, Transmissionselektronen- und Feldionenmikroskopie charakterisiert. Die experimentellen Ergebnisse sollen mit den Ergebnissen von Monte-Carlo-Simulationen verglichen werden.