Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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M: Metallphysik
M 3: Amorphe und metastabile Metalle I
M 3.6: Vortrag
Montag, 23. März 1998, 12:30–12:50, H 39
Grenzflächenmodifiziertes Amorphisierungsverhalten von CoZr in CoZr/Cu Viellagenschichten: Einfluss der Dicke der Schichten und der Stöchiometrie — •J. Langer1, R. Mattheis1, St. Senz2, D. Hesse2 und J. Zweck3 — 1IPHT Jena e.V. , Postfach 100239, D-07702 Jena — 2Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale — 3Inst. Experimentelle und Angewandte Physik, Universität Regensburg, D-93040 Regensburg
Gesputterte CoZr-Filme von einigen 10 nm Dicke weisen ab einem Zr-Gehalt von etwa 7at Die Ergebnisse werden mit einem Modell diskutiert, das auf der durch das unterschiedliche Volumen der Co- und Zr-Atome hervorgerufenen Spannung beruht.