Regensburg 1998 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 16: Epitaxie und Wachstum (II)

O 16.2: Talk

Tuesday, March 24, 1998, 11:30–11:45, H44

Wahrscheinlichkeitstheoretische Analyse von Wachstumsmodellen — •W. von der Linden, V. Dose, N. Memmel und R. Fischer — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Abteilung Oberflächenphysik, EURATOM Assoziation, D-85748 Garching

Die Zeitabhängigkeit der Augerintensität während des epitaktischen Wachstums ultra-dünner Filme wird routinemäßig dazu verwendet, den Wachtumsprozeß zu untersuchen. Das Augersignal liefert jedoch lediglich integrale Information über die Schichtdickenverteilung, auf die nur über Lösen eines schlecht konditionierten Inverionsproblems geschlossen werden kann. Üblicher Weise werden mögliche Wachstumsmodelle über einen Chiquadrat-Test verglichen. Wir werden demonstrieren, daß der konsistente Einsatz der Wahrscheinlichkeitstheorie wesentlich weitreichendere Aussagen über den Wachstumsprozeß erlaubt. Der wahrscheinlichkeitstheoretische Ansatz wird an einigen Beispielen demonstriert.