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O: Oberflächenphysik
O 21: Methodisches (Experiment und Theorie) (II)
O 21.10: Vortrag
Dienstag, 24. März 1998, 18:30–18:45, H44
Einfluß der Oberflächenmorphologie auf die Schichtdickenbestimmung mit XPS — •P. Kappen1, K. Reihs2, M. Voetz2, C. Seidel1 und H. Fuchs1 — 1Physikalisches Institut, Westfälische Wilhelms-Universität Münster, Wilhelm-Klemm-Straße 10, D-48149 Münster — 2Bayer-AG, Zentrale Forschung, ZF-FPO, Geb. E41, D-51368 Leverkusen
Der Bestimmung der Dicke weniger Nanometer dünner Filme liegt das
Lambeert’sche Gesetz zugrunde. Eine Auswertung von Daten aus XPS-Messungen
liefert mit diesem einen exponentiellen Zusammenhang, vorausgesetzt die
untersuchte Probe ist auf atomarer Skala glatt. Das jedoch trifft für
technische Proben meist nicht zu.
Wir haben daher den Effekt der Oberflächenmorphologie auf die
Schichtdickenbestimmung erfaßt. Hierzu dient ein Modell vereinfachter
Geometrie.
Bestätigt werden die Ergebnisse durch den Vergleich von Messungen an glatten
und texturierten Proben.