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O: Oberflächenphysik

O 23: Rastersondentechniken

O 23.2: Vortrag

Mittwoch, 25. März 1998, 14:45–15:00, H37

Kraftmikroskopische Untersuchungen zur Ausbreitung hochfrequenter akustischer Oberflächenwellen — •G. Behme, T. Hesjedal, E. Chilla, and H.-J. Fröhlich — Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik, Hausvogteiplatz 5-7, D-10117 Berlin

Das Resonanz- und das Abstrahlungsverhalten einer hochfrequenten akustischen Quelle für Oberflächenwellen, ein sog. Interdigitalwandler (IDT), wird mit Hilfe eines SAFM (scanning acoustic force microscope) untersucht. Die Amplitudenverhältnisse des Oberflächenwellenfeldes innerhalb des IDT und in dessem akustischen Nahfeld werden dabei abgebildet. Die Ausnutzung der Nichtlinearität der Kraft-Abstands-Kennlinie der Wechselwirkung zwischen AFM-Spitze und Probenoberfläche erlaubt die Bestimmung der Amplitude des hochfequenten Wellenfeldes mit hoher lateraler Auflösung. Die untersuchten IDTs wurden auf verschiedenen Substraten für Frequenzen im Bereich von 550-600 MHz präpariert. Dies entspricht einer Wellenlänge der angeregten Oberflächenwellen von 5,2 µm. Die Übertragungsbandbreite der Wandler beträgt etwa 500 kHz. Das charakteristische Resonanzverhalten der Wandler wird durch die Variation des in den Wandler eingespeisten HF-Signals über den Übertragungsbereich hinweg untersucht. Weiterhin werden die Blendenwirkung der 5λ-breiten Apertur und die resultierenden Diffraktionseffekte am Wandlerrand vorgestellt.