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O: Oberflächenphysik

O 23: Rastersondentechniken

O 23.7: Vortrag

Mittwoch, 25. März 1998, 16:00–16:15, H37

Nanohärteprüfung an diamantähnlichen Schutzschichten auf Magnetspeicherkomponenten — •A. Wienss^1,2, F. Krause², M. Heitmann³, G. Persch² und U. Hartmann¹ — ¹Universität des Saarlandes, FB 10.2 Experimentalphysik, Postfach 151150, D-66041 Saarbrücken — ²IBM Speichersysteme Deutschland GmbH, Hechtsheimerstr. 2, D-55131 Mainz — ³Fachhochschule Münster, Labor für Mikrofertigungstechnik, FB Physikal. Technik, Stegerwaldstr. 39, D-48565 Steinfurt

Die Piezomotorik eines Rastersondenmikroskopes wird verwendet, um mit einem diamantbestückten Cantilever nanometertiefe Eindrücke in dünnen Schichten zu erzeugen. Diese extrem kleinen Eindrücke werden sodann mit derselben Spitze vermessen. Die Ergebnisse werden herangezogen, um mikromechanische Eigenschaften von wenige nm dicken Schutzschichten aus amorphem Kohlenstoff, die in der Festplattenindustrie an Köpfen und Platten Verwendung finden, zu charakterisieren. Die Variation verschiedener Sputterparameter wirkt sich auf den Wasserstoff- und Stickstoffgehalt der Kohlenstoffschichten aus, was wiederum Einfluß auf die mechanischen Eigenschaften nimmt. Die Ergebnisse der Härtemessungen werden mit Ramanmessungen korreliert.