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O: Oberflächenphysik

O 24: Epitaxie und Wachstum (III)

O 24.17: Vortrag

Mittwoch, 25. März 1998, 18:30–18:45, H44

Vergröberung, Rauhigkeit und Neigungswinkel bei der Kraterbildung durch Ionenstrahlerosion auf Pt(111) — •M. Kalff¹, P. Smilauer², Th. Michely¹ und G. Comsa³ — ¹Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik, D 52425 Jülich — ²Institute of Physics, Cukrovarnicka 10, Cz 16253 Praha 6 — ³Universität Bonn, Institut für Physikalische Chemie, Wegelerstr.12, D 53115 Bonn

Die Morphologie bei der Ionenstrahlerosion von Pt(111) mit 1 keV Xe⁺ -Ionen wurde im Temperaturbereich zwischen 600 K und 750 K für 0.2 bis 600 abgetragene Monolagen quantitativ untersucht. Über den gesamten Temperaturbereich wird Kraterbildung mit charakteristischen Neigungswinkeln zwischen 6^o und 13^o beobachtet. Allerdings setzt die Kraterbildung bei hohen Temperaturen (750 K) erst nach langer Induktionszeit ein (ca. 100 ML), wobei die Kraterböden flach bleiben. Während die Vergröberung (≈ mittlerer Kraterdurchmesser) ein universelles Verhalten über den ganzen Temperaturbereich zeigt und mit einem Wachstumsexponenten von 0.3 beschrieben werden kann, ist die Rauhigkeitsentwicklung nicht universell und stark temperaturabhängig. Diese Ergebnisse werden mit atomaren Prozessen bei der Erosion verknüpft.