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O: Oberflächenphysik
O 33: Struktur und Dynamik reiner Oberfl
ächen (II)
O 33.8: Vortrag
Donnerstag, 26. März 1998, 18:00–18:15, H44
Beobachtung von Gleichgewichtsfluktationen an gestuften
Si(100) Oberflächen mit SPA-LEED — •M. Kammler1, M. Tringides2 und M. Horn-von Hoegen3 — 1Inst. für Halbleitertechnologie, Universität Hannover — 2Ames Laboratory, Iowa State University, Ames, USA — 3Inst. für Festkörperphysik, Universität Hannover
Gleichgewichtsfluktationen von Stufen auf vicinalen Si(100) Oberflächen wurden mit hochauflösender Elektronenbeugung (SPA-LEED) in einem Temperaturbereich von 650∘C-800∘C untersucht. Bei destruktiver Interferenzbedingung (Gegenphase) wurde die Intensität des aufgespaltenen Zentralreflexes über mehrere Sekunden mit unterschiedlichen Gatezeiten aufgezeichnet. Aus der Korrelationsfunktion des zeitlichen Intensitätsverlaufes läßt sich die Zeitkonstante der Fluktuationen bestimmen, wobei wir mit zunehmender Temperatur ein Abnehmen der Zeitkostanten beobachten.
Durch die inkohärente Überlagerung mehrerer verschiedener in sich kohärenter Streubereiche wird das Signal von den Fluktationen im Verhältniss zum statistischen Rauschen kleiner, das Signal/Rausch Verhältnis liegt bei unseren Messungen wie aus Monte Carlo Simulationen erwartet im Bereich von S/N=4·10−4.
Das Experiment zeigt, wie mit hochauflösender Elektronenbeugung Gleichgewichtsphänomene an Oberflächen studiert und Oberflächendiffusionskoeffizienten bestimmt werden können.