Regensburg 1998 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 34: Poster (II)

O 34.104: Poster

Thursday, March 26, 1998, 20:00–22:30, Bereich C

Herstellung und Untersuchung von Nanodrähten auf der Basis strukturierter Glimmersubstrate — •S. Höppener, L.F. Chi, S. Gao und H. Fuchs — Physikalisches Institut, Westfälische Wilhelms-Universität Münster, Germany

Durch die Bestrahlung von Isolatoren mit schweren, energiereichen Ionen sind Strukturen erzeugbar, die in einem separaten Ätzprozeß entwickelbar sind. Auf diese Weise erhält man kanalartige Strukturen, die durch ein großes Aspekt-Verhältnis und eine definierte Form gekennzeichnet sind und sich durch eine Variation der Ätzzeit in ihrer Größe an verschiedene Anforderungen anpassen lassen. Durch die Anwendung eines elektrochemischen Verfahrens besteht die Möglichkeit, verschiedene Metalle in die geätzten Glimmerkanäle einzufüllen, sodaß mit dieser Methode drahtähnliche Bauteile mit Nanometerdimensionen hergestellt werden können. Alle Herstellungsstufen werden mit Hilfe des Scanning Force Microscope kontrolliert. Die Funktion der metallgefüllten Nanostrukturen wird mittels integraler Widerstandsmessungen sowie durch lokale Leitfähigkeitsmessungen durch die Anwendung eines modifizierten SFM-Ausbaus kontrolliert.